| 发明名称 |
SOURCE FOR GENERATING MOLECULAR BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6294920(A) |
申请公布日期 |
1987.05.01 |
| 申请号 |
JP19850236038 |
申请日期 |
1985.10.22 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
SAKAI SUMIO;MURAKAMI SHUNICHI;ISHIDA TETSUO;HIRAMA HITOAKI |
| 分类号 |
C23C14/24;C30B23/08;H01L21/203;H01L21/26 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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