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经营范围
发明名称
FIELD EMISSION TYPE SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND SIMILAR APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6293848(A)
申请公布日期
1987.04.30
申请号
JP19850233404
申请日期
1985.10.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
KURODA KATSUHIRO;TODOKORO HIDEO
分类号
H01J37/05;H01J37/28
主分类号
H01J37/05
代理机构
代理人
主权项
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