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发明名称 PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6293922(A) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 JP19850233220 申请日期 1985.10.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO AKIHIKO;FUJITA MASAHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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