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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6268767(U) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 JP19850160418U 申请日期 1985.10.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;B25B9/02;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):B25B9/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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