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发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXY EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6293921(A) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 JP19850233248 申请日期 1985.10.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUJIOKA KAZUMASA;MORIOKA MAKOTO
分类号 H01L21/203;C30B23/08;H01L21/26 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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