| 发明名称 |
HALBLEITEREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3636547(A1) |
申请公布日期 |
1987.04.30 |
| 申请号 |
DE19863636547 |
申请日期 |
1986.10.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K. |
发明人 |
ARAI,HAJIME;HARADA,HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/532;H01L29/43;(IPC1-7):H01L23/52;H01L21/90 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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