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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6293928(A) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 JP19850234879 申请日期 1985.10.21
申请人 ROHM CO LTD 发明人 NAKAGAWA MASAKI
分类号 H01L27/088;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8234 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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