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发明名称 FILM DEPOSITION
摘要
申请公布号 AU6427086(A) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 AU19860064270 申请日期 1986.10.22
申请人 CANON K.K. 发明人 SHUNICHI ISHIHARA;JUN-ICHI HANNA;ISAMU SHIMIZU
分类号 C23C14/14;C23C16/22;C23C16/452;H01L21/205 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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