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经营范围
发明名称
FILM DEPOSITION
摘要
申请公布号
AU6426986(A)
申请公布日期
1987.04.30
申请号
AU19860064269
申请日期
1986.10.22
申请人
CANON K.K.
发明人
SHUNICHI ISHIHARA;JUNICHI HANNA;ISAMU SHIMIZU
分类号
C23C14/14;H01L21/205
主分类号
C23C14/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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