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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6293946(A)
申请公布日期
1987.04.30
申请号
JP19850235024
申请日期
1985.10.21
申请人
SONY CORP
发明人
SATO HIROSHI
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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