STRUCTURES DE CONDENSATEUR EN METAL REFRACTAIRE, PLUS PARTICULIEREMENT POUR DISPOSITIFS A CIRCUITS INTEGRES ANALOGIQUES

摘要

UNE STRUCTURE DE CONDENSATEUR CONVIENT PLUS PARTICULIEREMENT DANS DES DISPOSITIFS A CIRCUITS INTEGRES ANALOGIQUES ET EMPLOIE UNE COUCHE INTERMEDIAIRE 150 D'UN METAL REFRACTAIRE DISPOSE SUIVANT UNE FINE COUCHE RECOUVRANT UNE SURFACE DIELECTRIQUE PLATE 140. LA FINESSE ET LA FAIBLE REFLECTIVITE DU METAL REFRACTAIRE FACILITENT LA FORMATION PRECISE D'UN MOTIF POUR LA PLAQUE SUPERIEURE DE LA STRUCTURE DE CONDENSATEUR. DANS LA PRESENTE INVENTION, LA CAPACITE N'EST PLUS DETERMINEE PAR DES DECOUPES IMPRECISES PRATIQUEES DANS DES COUCHES EPAISSES D'OXYDE OU PAR LA FORMATION D'UN MOTIF DE COUCHES EPAISSES DE METALLISATION A L'INTERIEUR DE CES OUVERTURES. L'UTILISATION DE METAUX REFRACTAIRES DANS LA STRUCTURE DU CONDENSATEUR FACILITE AUSSI L'INCORPORATION D'ELEMENTS RESISTIFS DE CIRCUIT.

APPLICATION A LA FABRICATION DE CONDENSATEURS DANS DES DISPOSITIFS A CIRCUITS INTEGRES.