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发明名称 VORRICHTUNG ZUM ABTASTEN VON OBERFLAECHEN UNTER VERWENDUNG EINES GELADENEN PARTIKELSTRAHLS
摘要
申请公布号 DE3636316(A1) 申请公布日期 1987.04.30
申请号 DE19863636316 申请日期 1986.10.24
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 TODOKORO,HIDEO
分类号 H01J37/10;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/15;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/256;H01J37/20;G21K1/00 主分类号 H01J37/10
代理机构 代理人
主权项
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