从衬底上去除薄膜的气态方法和设备

摘要

从衬底上去除至少部分薄膜的方法，保持环绕衬底的大气在接近室温和通常大气压力下，在衬底上通入干燥惰性稀释气体，通过通入水蒸汽覆盖衬底和薄膜来预处理薄膜，在衬底上通入来自与水蒸汽发生源分开的发生源的水蒸汽和无水氟化氢气体，继续通入反应气体流，大多数情况为5至30秒，直至去除控制量的薄膜，终止反应气体流并继续通入干燥惰性稀释气体，终止薄膜去除。

主权项

1、一种包括把衬底曝露在囟化氢气体及水分里，从衬底上去除至少部份薄膜的方法，其特征在于包括：-从分开的可控的发生器提供无水囟化氢气体和水分，在薄膜的去除部分上，它们彼此起反应，-在衬底在受到流动的无水氟化氢作用之前、之后以及过程中，连续地流动的干燥的隋性稀释剂气体复盖在衬底和薄膜上。