| 发明名称 |
ILLUMINATING OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6292912(A) |
申请公布日期 |
1987.04.28 |
| 申请号 |
JP19850232845 |
申请日期 |
1985.10.18 |
| 申请人 |
NIPPON KOGAKU KK <NIKON> |
发明人 |
MATSUMOTO KOICHI;UEHARA MAKOTO;KIKUCHI TETSUO |
| 分类号 |
G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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