发明名称 VACUUM DEVICE HAVING MULTI-CHAMBER CONSTRUCTION
摘要
申请公布号 JPS6293370(A) 申请公布日期 1987.04.28
申请号 JP19850231219 申请日期 1985.10.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 ARIMATSU KEIJI;SETOYAMA HIDETSUGU;OIKAWA SHINZO
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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