THERMAL DIFFUSION METHOD OF PHOSPHORUS IN SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19850231344-传众专利搜索

发明名称	THERMAL DIFFUSION METHOD OF PHOSPHORUS IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6292313(A)	申请公布日期	1987.04.27
申请号	JP19850231344	申请日期	1985.10.18
申请人	OKI ELECTRIC IND CO LTD	发明人	KITAGUCHI HIROHISA;KIMURA TATSUYA
分类号	H01L21/223	主分类号	H01L21/223
代理机构		代理人
主权项
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