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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6292322(A) 申请公布日期 1987.04.27
申请号 JP19850231216 申请日期 1985.10.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUROSAWA YUKIO;HAKAMATA YOSHIMI;HIRASAWA KUNIO
分类号 H01J37/30;C23F1/04;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
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