发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6292369(A) 申请公布日期 1987.04.27
申请号 JP19850231231 申请日期 1985.10.18
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 OGIWARA ITARU;TAMAOKI YOICHI;NAKAMURA TORU;KURE TOKUO;IKEDA SEIJI;SAGARA KAZUHIKO;HAYASHIDA TETSUYA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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