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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6292369(A)
申请公布日期
1987.04.27
申请号
JP19850231231
申请日期
1985.10.18
申请人
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP
发明人
OGIWARA ITARU;TAMAOKI YOICHI;NAKAMURA TORU;KURE TOKUO;IKEDA SEIJI;SAGARA KAZUHIKO;HAYASHIDA TETSUYA
分类号
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/72
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
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