| 发明名称 |
FOCUSED ION BEAM IRRADIATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6290842(A) |
申请公布日期 |
1987.04.25 |
| 申请号 |
JP19850230738 |
申请日期 |
1985.10.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
SASAKI YOSHINOBU;MORIMOTO HIROAKI |
| 分类号 |
G21K1/00;G21K1/087;G21K5/04;G21K5/10;H01J37/317;H05H7/00 |
主分类号 |
G21K1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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