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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD FOR THIN SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPS6291495(A) 申请公布日期 1987.04.25
申请号 JP19850230245 申请日期 1985.10.15
申请人 NEC CORP 发明人 SUGAO SHIGEO
分类号 C30B29/40;C30B25/02;H01L21/205 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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