| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR NEGATIVE RESIST PATTERN ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6290932(A) |
申请公布日期 |
1987.04.25 |
| 申请号 |
JP19850229891 |
申请日期 |
1985.10.17 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORP |
发明人 |
WATANABE HISASHI;TAKASU YASUHIRO;TODOKORO YOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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