| 发明名称 |
PERFEZIONAMENTI AD INDUTTORI E SUSCETTORI IMPIEGABILI IN REATTORI EPITASSIALI. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT8720255(D0) |
申请公布日期 |
1987.04.24 |
| 申请号 |
IT19870020255 |
申请日期 |
1987.04.24 |
| 申请人 |
L.P.E. S.P.A. |
发明人 |
POZZETTI VITTORIO;PRETI FRANCO;POGGI PIERGIOVANNI |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/46;C30B25/10;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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