发明名称 SUBCOLLECTOR FOR BIPOLAR TRANSISTORS
摘要 Procédé de fabrication de transistors bipolaires consistant à produire sur un substrat en silicium d'un type déterminé de conductivité une dérivation de collecteur (22) en bisiliciure de cobalt ou tout autre matériau présentant une bonne correspondance avec le réseau cristallin du silicium et compatible avec les procédés conventionnels de production de circuits intégrés en silicium, à provoquer par la suite sur la dérivation du collecteur et sur le substrat la croissance épitaxiale d'une couche (18) en silicium présentant une conductivité de type opposé et à former ensuite par des techniques conventionnelles les régions de base (10), d'émetteur (11) et de collecteur (8, 12) du transistor dans la couche de silicium obtenue par croissance épitaxiale.
申请公布号 WO8702510(A1) 申请公布日期 1987.04.23
申请号 WO1986GB00643 申请日期 1986.10.20
申请人 PLESSEY OVERSEAS LIMITED 发明人 OAKLEY, RAYMOND, EDWARD
分类号 H01L21/20;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/761;(IPC1-7):H01L21/74;H01L21/76 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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