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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6265833(U)
申请公布日期
1987.04.23
申请号
JP19850156899U
申请日期
1985.10.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;B23K26/14;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/88
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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