| 发明名称 |
APPARATUS FOR INSPECTING CONTINUITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6287875(A) |
申请公布日期 |
1987.04.22 |
| 申请号 |
JP19850226762 |
申请日期 |
1985.10.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NINOMIYA TAKANORI;NAKAGAWA YASUO;HAMADA TOSHIMITSU;KUBOTA HITOSHI;KOBAYASHI FUMIYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/02;G01R31/302;H05K3/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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