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经营范围
发明名称
EQUIPMENT FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号
JPS6288320(A)
申请公布日期
1987.04.22
申请号
JP19850230556
申请日期
1985.10.15
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
YONEDA KOJI
分类号
H01L21/208
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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