| 发明名称 |
Alpha-type electron energy filter. |
| 摘要 |
Es wird ein abbildendes Alpha-Filter mit geraden Kanten der Polschuhe angegeben, das eine gute Ortsauflösung und eine sehr gute Energieauflösung hat. Es besteht aus drei Umlenkbereichen, welche durch relativ große Zwischenräume voneinander getrennt sind.
|
| 申请公布号 |
EP0218921(A2) |
申请公布日期 |
1987.04.22 |
| 申请号 |
EP19860112548 |
申请日期 |
1986.09.10 |
| 申请人 |
FIRMA CARL ZEISS |
发明人 |
ROSE, HARALD, PROF. DR.;LANIO, STEFAN |
| 分类号 |
H01J37/05;H01J37/26;H01J49/44 |
主分类号 |
H01J37/05 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
