| 发明名称 |
SPECIMEN PREPARING JIG FOR OBSERVING CROSS-SECTION OF IC CHIP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6287838(A) |
申请公布日期 |
1987.04.22 |
| 申请号 |
JP19850229674 |
申请日期 |
1985.10.14 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
UEDA MINORU |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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