发明名称 ELECTRON BEAM SENSITIVE MIXTURE RESIST
摘要
申请公布号 EP0126652(B1) 申请公布日期 1987.04.22
申请号 EP19840303459 申请日期 1984.05.22
申请人 GAF CORPORATION 发明人 LEWIS, DAVID F.
分类号 C08F8/44;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 C08F8/44
代理机构 代理人
主权项
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