Arrangement for the detection of secondary and/or back-scattering electrons in an electron beam apparatus.

摘要

In einem Elektronenstrahlgerät wird ein Primärstrahl (2) auf einem Punkt (13) einer Probe (5) gerichtet, wobei die an diesem austretenden Sekundärelektronen nach dem Durchlaufen eines elektrischen Absaugfeldes zu einem Detektor (14 bis 17) gelangen. Das Absaugfeld besteht zwischen Elektroden (21, 22), die in einer zur elektronenoptischen Achse senkrechten Ebene angeordnet sind. Ein zu diesem elektrischen Feld senkrecht stehendes Magnetfeld (23, 24) kompensiert die vom Absaugfeld auf den Primärstrahl (2) ausgeübten Kräfte und unterstützt den Absaugvorgang.