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发明名称 CONVEYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6287749(A) 申请公布日期 1987.04.22
申请号 JP19850226466 申请日期 1985.10.11
申请人 NEC CORP 发明人 KATO HIROSHI
分类号 F24F7/06;B62B5/00;B65G69/20;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
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