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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6286766(A) 申请公布日期 1987.04.21
申请号 JP19850226262 申请日期 1985.10.11
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO AKIHIKO
分类号 H01L29/872;H01L21/28;H01L21/337;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/808;H01L29/812 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
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