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发明名称
PROBE CARD
摘要
申请公布号
JPS6286739(A)
申请公布日期
1987.04.21
申请号
JP19850226465
申请日期
1985.10.11
申请人
NEC CORP
发明人
YASUDA TOSHIMI
分类号
H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
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