发明名称 FORMING METHOD FOR ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6286714(A) 申请公布日期 1987.04.21
申请号 JP19850226229 申请日期 1985.10.11
申请人 NEC CORP 发明人 NAGAI KEIJI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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