发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6286826(A) 申请公布日期 1987.04.21
申请号 JP19850229313 申请日期 1985.10.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KIRIYAMA SHUJI;SONOBE YUKIO
分类号 H01L21/02;H01L21/304;H01L21/316 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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