| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6286713(A) |
申请公布日期 |
1987.04.21 |
| 申请号 |
JP19850227152 |
申请日期 |
1985.10.11 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORP |
发明人 |
UTSUNOMIYA SATORU;HIGASHIMORI SHIRO |
| 分类号 |
H01L21/265;C23C14/48;H01J37/317 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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