INSPECTING DEVICE FOR WAFER,申请号JP19850226944-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	INSPECTING DEVICE FOR WAFER
摘要
申请公布号	JPS6286835(A)	申请公布日期	1987.04.21
申请号	JP19850226944	申请日期	1985.10.14
申请人	NIPPON KOGAKU KK <NIKON>	发明人	AKAGAWA KATSUYUKI
分类号	H01L21/66;G01R31/26	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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