发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6286818(A) 申请公布日期 1987.04.21
申请号 JP19850228157 申请日期 1985.10.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO TSUTOMU
分类号 H01L21/3205;H01L21/28 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址