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发明名称
STRUCTURE FOR SUPPORTING BOAT FOR VACUUM DEPOSITION
摘要
申请公布号
JPS6286158(A)
申请公布日期
1987.04.20
申请号
JP19850226703
申请日期
1985.10.14
申请人
HITACHI LTD
发明人
SAWAGUCHI TAKEO
分类号
C23C14/26
主分类号
C23C14/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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