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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6286165(A) 申请公布日期 1987.04.20
申请号 JP19850228077 申请日期 1985.10.14
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 C23C16/48;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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