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发明名称 ORGANIC METAL THERMAL DECOMPOSITION VAPOR CRYSTAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6285423(A) 申请公布日期 1987.04.18
申请号 JP19850224657 申请日期 1985.10.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SAGARA MINORU;MUTO YUHEI;SUHARA MOTOI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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