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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6285443(A) 申请公布日期 1987.04.18
申请号 JP19850224752 申请日期 1985.10.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWABUCHI YASUSHI;ONUKI HITOSHI;KOIZUMI MASAHIRO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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