发明名称 HOLE FORMING METHOD FOR INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPS6285434(A) 申请公布日期 1987.04.18
申请号 JP19850226544 申请日期 1985.10.09
申请人 SHARP CORP 发明人 KAMIYA SHOGO
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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