| 发明名称 |
PROCEDE LITHOGRAPHIQUE POUR LA FABRICATION DE DISPOSITIFS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2545622(B1) |
申请公布日期 |
1987.04.17 |
| 申请号 |
FR19840006797 |
申请日期 |
1984.05.02 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE TELEGRAPH CY |
发明人 |
ABRAHAM KATZIR ET PAUL ROBERT KOLODNER;KOLODNER PAUL ROBERT |
| 分类号 |
H01L21/027;G01N21/31;G01N21/64;G03F7/30;H01L21/30;(IPC1-7):G03F1/02;H01L21/312;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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