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发明名称 CONTINUOUS PLASMA IRRADIATION DEVICE FOR STRIP
摘要
申请公布号 JPS6283469(A) 申请公布日期 1987.04.16
申请号 JP19850224386 申请日期 1985.10.08
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 SAKAMI TOSHIYUKI
分类号 C23C14/12;B05C9/00;C23C14/56;C23C16/50;C23C16/54 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
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