发明名称 PROCESS FOR FORMING A POLYSILICON GATE INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 DE3175991(D1) 申请公布日期 1987.04.16
申请号 DE19813175991 申请日期 1981.10.19
申请人 NCR CORPORATION 发明人 BROWER, RONALD WAYNE
分类号 C22B21/00;H01L21/00;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/82;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90 主分类号 C22B21/00
代理机构 代理人
主权项
地址