| 发明名称 |
FORMATION OF PATTERN IN MICROMECHANICS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6283481(A) |
申请公布日期 |
1987.04.16 |
| 申请号 |
JP19860227929 |
申请日期 |
1986.09.26 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
GIYUNTAA EERURAA;HAINTSU HAAGEN;KURAUSU BETSUKAA |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/02;C25F3/14;H01L21/308 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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