发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING PARTICLES ON A MATERIAL
摘要
申请公布号 IE51845(B1) 申请公布日期 1987.04.15
申请号 IE19810002517 申请日期 1981.10.27
申请人 HAMAMATSU SYSTEMS INC. 发明人
分类号 G01B11/24;G01B11/30;G01N21/47;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/47;G01N21/88 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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