| 发明名称 |
RECOGNITION SYSTEM FOR ELECTRONIC PART |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6281796(A) |
申请公布日期 |
1987.04.15 |
| 申请号 |
JP19850223284 |
申请日期 |
1985.10.07 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
SARUTA KANJI;TAKEMOTO NORIYUKI;MIYASAKA SHINYA |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;H05K3/30;H05K13/08 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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