发明名称 Micropositioning device.
摘要 <p>L'invention se rapporte aux dispositifs de micropositionnement, en particulier pour composants d'optique guidée. Le dispositif de l'invention à N degrés de liberté comporte deux éléments rigides qui sont la base de référence (1) et la plate-forme mobile (3) et se caractérise par le fait que la base de référence et la plate-forme mobile sont reliées par N chaînes indépendantes, chaque chaîne étant constituée de moyens de guidage élastique (17 et 18 ou 27 et 28) à un seul degré de liberté, disposés en série, et d'un actionneur (10,20) fixé à la base de référence. L'invention s'applique dans le montage de composants d'optique guidée.</p>
申请公布号 EP0218546(A1) 申请公布日期 1987.04.15
申请号 EP19860810382 申请日期 1986.08.27
申请人 SUISSE ELECTRONIQUE MICROTECH 发明人 SCHWAB, PHILIPPE;GENEQUAND, PIERRE M
分类号 G02B7/00;B23Q1/36;B23Q1/48;B23Q1/62;G03F7/20;G12B5/00;(IPC1-7):G03B41/00;G03F9/00 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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